​*UVC (kısa UV,shortwave UV, germisidalUV;200-280 nm) olarak üç bölümde incelenebilir. 

     UV radyasyon kısa dalga boyu ve yüksek enerjisi nedeniyle her çeşit mikroorganizmayı öldürebilir. UV ışınının en büyük antimikrobik etkinliği 250-260 nm(253,7nm) dalga boyu bölgesindedir. Bu dalga boyu, DNA tarafından en etkin şekilde absorbe edilen dalga boyudur. Hücresel DNA larca absorbe edilen UV radyasyon enerjisi, bitişik timin bazları arasında kimyasal kovaken bağlar oluşturarak timin dimerleri meydana getirir. Ortaya çıkan bu timin dimerleri hücresel UV hasarının başlıca mekanizmasını oluşyurur. Bu UV nedeniyle oluşan timin dimerleri DNA iplikçiklerinde katlanmalara neden olur,DNA nın doğal helikal yapısı bozulur. Bu durum hücre bölünmesi öncesi kromazom replikasyonunu güçleştirir. Genlerin transkipsiyonu ve ekspresyonu yapılamaz. Kromozom replikasyonu yapılabilse bile üreyemeyen mutant hücreler ortaya çıkacaktır. Timin dimerleri yaşamsal fonksiyonu olan genlerde görüldüğünde, DNA replikasyonunu engellediğinde öldürücüdür. Belli koşıllarda bazı organizmalar DNA hasarını onarabilir ve üremenin tekrar mümkün olabileceği aktif bir duruma dönebilir.UV ışınının ş,iddetinin çok yoğun olduğu durumlarda hasar çok yaygın olur ve bu durumda onarım olanaksızdır. Onarım mekanizmalarından ilki, çoğu mikroorganizmaların sahip olduğu ışıkla harekete geçen onarım sistemidir.Fotoreaktivasyon denilen bu sistem,timin dimerlerini ayırarak etki gösterir.Fotoreaktivasyon gorülebilir dalga boyundaki güneş ışığının katalizör etkisinin sonucudur. Şigalle gibi bazı bakteriyel patojenler fotoreaktivasyon sistemine sahiptir,fakat virüsler ve bazı bakterilerde bu mekanizma yoktur. Bazı organizmalarda ışığa gereksinim duymayan karanlık reaktivasyon (darkreactivation) denilen diğer bir onarım sistemi bulunur. Bu sistemde timin dimerleri taşıyan kısa DNA zincirleri kesilip atılır. Onarım belli bir sürede yapılabilir, bu süre içinde onarım olmazsa hasar geri dönüşsüz olacaktır. 
     UV radyasyonun germisidal etkisi doza bağımlıdır.Işıma süresi arttıkça veya ışıma şiddeti arttıkça (ışık kaynağına yakınlık veya yüksek voltaj) ölen vejetatif hücre sayısı da artar. UV kaynağından belirli bir alana verilen ışığın enerjisi mikrowatt olarak ölçülür. Mikroorganizmaların inaktivasyonunda , gerekli enerji UV ışınının şiddeti ve ışınlama  süresinin çarpımı ile hesaplanır.(mikrowatt saniye/cm2). Bu inaktivasyon için gerekli enerji farklı mikroorganizmalar için değişiklik  göstermektedir. Vejetatif bakterilerde1 log inaktivasyon için yaklaşık 2-6 mW.saniye/cm2 enerji gerekir.Bazı bakteriyel endosporlar sporulasyon sürecinde oluşan proteinler aracılığı ile UV den korunabilir.. Bu spor proteinleri DNA'ya bağlanarak konfigürasyonunu değiştirir ve böylece timin dimerlerinin oluşumunu zorlaştırır. Bu da UV ile sterilizasyonda sporlu bakteriler için sporsuz bakterilerden 10 kat daha fazla doz gerektirir. Dolayısıyla bu ışınla sterilizasyon sağlamak uzun süre almaktadır..
     UV ışınlar tozsuz hava ve temiz su içinden kolaylıkla geçmesine rağmen,sıradan bir cam,kir ve yağ tabakaları,bulanık solüsyonlar,süt ve plastik gibi maddelere etkin olarak geçemezler. Dolayısıyla UV ışınlar organizmalara direkt olarak geldiğinde ancak etkili olabilmektedir. Başka bir deyişle yüzey dezenfeksiyonunda daha başarılıdır denebilir. UV kaynağı ile steril edilecek ortam arasında her hangi bir engel bulunmamalıdır. Katı maddeler içindeki mikroorganizmalar veya herhangi bir şekilde siperlenmiş, direkt UV ışınından korunmuş mikroorganizmalar  UV ışınından etkilenmeyeceklerdir.